西安弈斯偉硅片項目一期主要新建12英寸(300毫米)集成電路用硅單晶拋光片和外延片,建設內容包括生產廠房、拉晶廠房、綜合動力廠房、廢水處理站、固廢站、氣體庫、化學品庫、大宗氣站、門衛(wèi)等建筑。
主要生產過程在封閉的一定溫度、濕度以及潔凈度的空間中進行,每周工作7天、每天24小時連續(xù)生產,自動化程度高,維持生產需要多種氣體、化學品、水系統(tǒng)等支持。對用電質量穩(wěn)定性及可靠性要求較高,一旦因電力問題發(fā)生導致連續(xù)生產被打亂,需要較長時間才能恢復。
本項目需要進行諧波治理為加熱爐負載,加熱爐工作時會產生大量諧波電流,產生的諧波不僅影響到自身設備的正常工作,而且會注入到電網中影響公共連接點所連接的其他支路的負荷,給系統(tǒng)帶來嚴重的電能質量問題,不利于供電設備的安全運行。
半導體行業(yè)的3次諧波非常嚴重,主要是由于生產中使用了大量的單相整流設備。3次諧波屬于零序諧波,具備在中性線匯集的特點,導致中性線壓力過大,會出現(xiàn)打火現(xiàn)象,存在著生產安全隱患。諧波還會造成斷路器跳閘,耽誤生產時間。3次諧波在變壓器內形成環(huán)流,加速了變壓器的老化。嚴重的諧波污染對配電系統(tǒng)中的設備使用效率和壽命造成影響。
針對本項目低壓供電系統(tǒng),每套加熱爐就地增加BW-APF有源濾波裝置,進行諧波治理,可有效保證供電質量。
本項目生產線配置東方博沃有源濾波裝置APF,有效補償了負載運行產生的各特征次諧波,消除諧波對生產環(huán)節(jié)的影響,保證用電設備的安全運行,提高配電系統(tǒng)的穩(wěn)定性,提高變壓器的帶負載能力,節(jié)約設備更替的投資。